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若不再维修,中国能自己修吗?黎明前的黑暗来了
方煦
2024-09-04
【艺术】
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摘要据环球时报报道,美国正在向荷兰施压,让ASML不再维护中国购买的光刻机,包括深紫外光曝光设备,在美国施压下,荷兰政府很可能不会续发许可,撤销这种维修支持,一些设备恐怕到明年就无法使用。据外媒报道,中国大陆积极发展芯片业让美国担忧,《日经新闻》称,中国大陆芯片业实力持续进步,目前只差台积电3年水平。而美国出口管制的目标,是想让中国大陆在芯片竞赛中落后长达10年的时间。问题来了,ASML将不再维修中国大陆DUV,中国自己能修好吗?我们知道,一台EUV光刻机精密零部件超过10万多个,4万个螺栓,400
据环球时报报道,美国正在向荷兰施压,让ASML不再维护中国购买的光刻机,包括深紫外光曝光设备,在美国施压下,荷兰政府很可能不会续发许可,撤销这种维修支持,一些设备恐怕到明年就无法使用。
据外媒报道,中国大陆积极发展芯片业让美国担忧,《日经新闻》称,中国大陆芯片业实力持续进步,目前只差台积电3年水平。而美国出口管制的目标,是想让中国大陆在芯片竞赛中落后长达10年的时间。
问题来了,ASML将不再维修中国大陆DUV,中国自己能修好吗?
我们知道,一台EUV光刻机精密零部件超过10万多个,4万个螺栓,4000多条线路,超过2公里以上的软管线。单次发货需要动用40个货柜、20辆卡车以及3架波音飞机才能运完。
即便是DUV光刻机,也同样涉及到非常复杂和精密的技术和工艺,需要足够的专业人才和设备来进行维修。10万个零部件,光设备与线路,就非常复杂,即便一件件组装起来,难度都不小,更何况还要设备串联一体,赋予智能操作。
因此,真正大的故障,一定是生产厂商进行维修保障,光刻设备是需要购置每年的原厂升级维保费用的。
而且光刻机很多精密部件在现场也是不可以拆卸的,所以不大可能通过光刻机设备工程师造出光刻机设备的。
在我们中国市场,ASML设立了一处维修中心,通常情况下,一般的光刻机设备故障,首先会经过该处维修中心尝试性的维修来解决。确定无法通过维修解决时,则会进行零部件的更换操作,以保障这些设备尽快的恢复生产秩序。
光刻机维修在操作上并不难,难度其实关键还是在零部件上。只要能找到通用的零部件,往往自然就能自己修了。
在过去有业内人士认为,整机能堵住,零部件恐怕堵不住,只要使用的不是美国零部件,还是能找到替换品的。一个例子是,若不再维修,中国能自己修吗?黎明前的黑暗来了俄罗斯,古巴等出现的万国货,军用品用民用品替代等现象,主要是因为欧美对两国的全面禁运造成的。
但其实光刻机的维修就难在零部件的更换上。
从部件构成上看,光刻机主要部件包含测量台与曝光台、激光器、光束矫正器、能量控制器等11个模块,这些模块必须协同工作,以确保光刻机的高效和精准。

如果是一些普通通用的零部件倒还好,怕就怕在核心的元器件坏掉了。比如有一些损耗品的元器件恰恰又是核心元器件,譬如光刻系统的镜头组件,主要是由德国蔡司提供的。
包括对应光刻机设备的专用工件台、配套用于定位对准的激光部件等,作为半导体设备整合组装大厂的ASML,非常依赖美国的零部件厂商供应对应型号。
此外,光刻机的极紫外线光源,光刻机所要求的体积小,功率高且稳定的光源,这点美国一直掌握着成熟技术,其他国家都是向其采购的。
而反射镜面,只有用高精度和高光滑度的镜片才能聚焦和校准光线,从而光线才能精确无误的照射在硅片上来画出微小图案。目前能够达到光刻机要求的镜片标准的厂商也在德国。
另外像是芯片上用的复合材料,光刻胶,高纯度化学品也多数都是日本专利。
而荷兰本身制造光刻机90%以上的零配件都需要从多个国家进口,我们要找到通用零部件自己维修谈何容易。
从目前情况来看,我们今年在大规模采购ASML光刻机,ASML的中国销售占比从过去的30%左右涨到了49%。ASML在中国3个月卖了180亿。
这背后,或也是预料到美国要从光刻机维修上卡脖子了,而新采购的光刻机能有更长的寿命,也在维修期限内,以时间换空间,旧的坏了,新的光刻机能顶上。
黎明前的黑暗来了
因此,我们依然不能乐观,之所以还需要严重依赖ASML,在于国产设备零部件还不能做到完全自主。
综上来看,我们维修光刻机的难点是在镜头组件、工作台以及反射镜面、极紫外线光源等关键元器件上找不到可以完整替代的通用零部件。
因为如果在关键元器件上有完整可替代的元器件,制造光刻机就不再存在难点了,因为自主生产制造光刻机与维修面临的难题是一样的,就是关键的元器件无法替代。
当然,如果ASML停止提供售后服务和提供零部件,那么ASML就违法了合约,就需要承担违约责任的,美国的施压就让ASML变成了夹心饼干,如果全部回购,1000多亿美元的二手货堆放仓库成了废品,世界是有几家公司能承受如此巨大的现金损失?
总的来说,维修这个困难是比较大的,这种极限施压,是逼着中国自己加速把光刻机关键部件突破。
此前,中微公司创始人、董事长兼CEO尹志尧提到,“国内可提供设备占集成电路生产线的15%-30%,但中国有上百个设备公司、20多个成熟公司正在拼命努力,几乎涵盖半导体十大类设备,我们应该用5年、10年的时间,达到国际最先进水平,这是可以实现的。”
前段时间ASML说保证可以远程瘫痪光刻机,现在又说要在光刻机维修上卡脖子,目的就是延缓我们追赶的时间,而这2~3年应该是非常关键的,也是正处于黎明前的黑暗时期。
办法总比困难多,一劳永逸的解决办法是自己有,现在就是在打一场时间的战役,我们的自主研发可能还要跑的更快些才行。
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